全球的EUV光刻机只要荷兰ASML能够出产,日本两大光刻机公司佳能、尼康退出了EUV出产,但日本公司在EUV产业链上仍然有很强的堆集,EUV光刻胶及EUV晶圆主要是日系厂商操控。
三年前日本为了镇压韩国,宣告约束多种先进半导体技能和资料出口给韩国,EUV方面的产品就很灵敏,不过韩国公司也在活跃研制代替产品,日前SK财团部属的SK Siltron宣告研宣告10nm级第四代(1a)DRAM的抛光晶圆,可用于EUV工艺的内存芯片出产。
SK Siltron是韩国最大、国际第三的硅晶圆公司,旗下产品主要有抛光片及外延片,前者以高精度多晶硅为根底,适用于内存及闪存芯片,后者以高精度单晶硅为根底,适用于逻辑工艺,也便是出产CPU、GPU之类的芯片。
三星及SK海力士的DRAM内存芯片也开端使用EUV工艺,所需的EUV级硅晶圆之前只要日本两家公司胜高及信越(他们两家是榜首、第二大硅晶圆供货商)能够出产,三星也要进口日本厂商的产品。
跟着SK Siltron量产EUV等级硅晶圆,三星及SK海力士也会收购韩国公司的产品,削减对日本厂商的依靠,完成供应链多元化。